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半导体制程设备核心零部件射频电源,国产验证与替代加...
2023-09-06

射频电源为等离子体配套电源,广泛应用于半导体与泛半导体领域。射频电源主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成,属于可以产生固定频率正 弦波、具有一定频率的高频交流电源,工作频率一般处于 2MHz 至...

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