射频电源为等离子体配套电源，广泛应用于半导体与泛半导体领域。射频电源主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，属于可以产生固定频率正 弦波、具有一定频率的高频交流电源，工作频率一般处于 2MHz 至...
